作为一鸣集团🁆🃠公司的重点项目，这台国产光刻机的主机系统总装调试完成以后，其实已经测试过很多次。倘若数据不过关，项目🙟负责人胡明镇是不会立即做光刻机总调试验的。
但今天上午的光刻😬试验中出现光刻质量缺陷，这台设备若没出🄍🞌现问题，逻辑上怎么也解释不清楚。
带着这种疑问，万宁古陪着许振鸣来到光刻🞎机主机系统检测调试工作站的旁边，两眼一直盯着工作站的监视器屏幕。
时间不久，他担心的事情出现了……
当这台光刻机主机系统完成一次模拟光刻执🞎行程序以后，监视器显示的各项数据都很正常，精度误差都在许可的范围之内。
“报告许董，主机😬系统重复精度小于0.001☊毫米，数据正常。”
“报告万总，主机系统的震动量误差都在🎫量级以内，不🈚⚜💐会对光刻程序造成影🝆🈵响。”
“🚋👵报告万总，主机系统的功率输出一直都非常稳定，模拟光刻过程中没有出现波动现象。”
“这台设🖾备的电磁杂波强度都在量级要求范围之内，没有出现🄍🞌异常情况🀤。”
“……”
技术员们非♎🗟常专注，每出现一个数据就会把情况如实汇报。🉃🄦⛙🉃🄦⛙
通过他们一番比对下来，这台光刻机主🍏体系统的数据和原始测试数据没发生变化。这事有点蹊跷🝰🎶🕡了！
另一边，郝宁教授的团队🝝🌇已经完成了激光光源👭的☊能量测试流程，一切也正常。
不但如此，他们已经完成了第一遍激光光源的光谱测试，激光在空气中的散光度误差很小，🗏在正常范围之内。
由🚋👵🚋👵此看来，米国佬😬的这台激光光源系统没有质量问题，性能非常稳定。
看到这一幕，梁宋松也有点傻眼了，“两套系统单体测试都很正常，组装总成以后出现质量缺陷。这是什么鬼情况？”🈚⚝