“这…这事有点邪门啊！”万宁古此时🜶也有点懵，两手一摊，看着许振鸣苦笑，并且直摇头。
今天中午饭的时候，他得到梁宋松的提醒，灵感咋现，其实已经初步判断出这台光刻机的故障所在。按照他的设想，米国产的激光光路系统肯定没问题，国产的光刻机主体系统肯定有问题。
但🖿😛现在一番检测🃆🕡下来，这两台设备的情况都很正常，问题🁴到底在哪里？
“两台设备单体都正常，组装在一起就🜶不正常。在组装的时候，我们做过哪些改动程序？”
这时，许振鸣慢慢的蹲下身子，目光落在⚲🕙光刻机主体系🆕🏖🚄统的接驳机构处。他的意思很明确，就是这个接驳机构出了问题。
“想想也是，我觉得应该是两台设备的接驳组装机构出了🁴故障。”郝宁教授朝许振鸣这边看了过来，说出🕢自己的猜想。
“不可能！我们这台光刻机的接驳机构是用集团公司最先进的加工中📒心制造的，加工精度能保证。”万宁古一🄤⛆😌边说话，一🏜🚾😾边也跟着半蹲了下来。
这时候，梁宋松有点懵懵的。出于自信，他随口就否定了万宁古的判断，“怎么不可能？我们集团公司的机械制造水平要比米国佬差了两代左右，加工精度怎么能保障？依我看，就是这台光刻机🃈🕸主体系统的接驳机构有问题。”
“🖿😛咱们不能随便乱说，要用实验数据来说话。”万宁古不认输，用手指摸了摸主机系统的接驳机构，感😈⛂🗤受一下接驳机构的加工面。🙭🍨
这组👿🎥接驳机构的加工面非常光滑，曲线度、🟍🛹♪光滑度通过目测应该找不出故障。
所以，许振鸣根本没准备用🜛🂵📊手指去体验这种异型的接驳机构。他观察了一下，然后侧过脸来问万宁古：“老万，咱们可不可以用分开的🟆🚷😀模式来做光刻试验？”
万宁古闻言🁽🙃摇摇头，“光刻机是精密设备，两套系统一定要组装在一起工作才行。否则，光刻流片的精度无法保障。”
按照他的意思，土办法是解决不了目前的⚲🕙测试困境，这事有点难🏽办了。